薄布、フィルム、基板等の吸着搬送が可能
・薄布、フィルム、基板等の吸着搬送が可能
・高リフト力 従来比：4.4倍（供給圧力0.5［MPa］、通気性のないワークの場合）
・ストッパ、振動抑制カバーを用意
・圧力センサ付の選択が可能
共通仕様
| 使用流体 | 空気 |
|---|---|
| 使用圧力 | 0.1～0.5Mpa |
| 周囲および使用流体温度 | −5～60℃（凍結なきこと） |
| グリース | ノングリース |
| 材質 | ボディ：アルミニウム合金 振動抑制カバー：合成樹脂 |
| 質量 | 48.8g(基本形／プラグなし) |
| 圧力センサ | PSE541-M5 定格圧力範囲0～-101kPa |
