薄布、フィルム、基板等の吸着搬送が可能
・薄布、フィルム、基板等の吸着搬送が可能
・高リフト力 従来比:4.4倍(供給圧力0.5[MPa]、通気性のないワークの場合)
・ストッパ、振動抑制カバーを用意
・圧力センサ付の選択が可能
共通仕様
使用流体 | 空気 |
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使用圧力 | 0.1~0.5Mpa |
周囲および使用流体温度 | −5~60℃(凍結なきこと) |
グリース | ノングリース |
材質 | ボディ:アルミニウム合金 振動抑制カバー:合成樹脂 |
質量 | 48.8g(基本形/プラグなし) |
圧力センサ | PSE541-M5 定格圧力範囲0~-101kPa |