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SMC
SFC100
SFC100
■クリーンな環境で一貫工程
・クリーンな環境で全部品の洗浄、組立、検査、帯電防止密閉二重包装までを移管して行います。
・組立環境「クリーンルーム：クラスM5.5（ISOクラス7）」、「クリーンブース：クラスM3.5（ISOクラス5）」
■高度な「ろ過」
・PTFEメンブランカートリッジエレメントにより、ろ過度0.01μm（捕集効率99.99％）を実現。
・クリーンガスストレーナは、公称ろ過度120μm。
■幅広い環境下で使用可能
・耐薬品性および耐熱性の高い材質の仕様により、高範囲の環境下で使用可能。
■半導体プロセス用圧縮空気、窒素の精密ろ過
■高信頼のPTFEメンブラン
■ろ過度0.01μm（捕集効率99.99％）
■ディスポ―ザブルタイプ
6件の型式
| 型式 | シリーズ | 形状 | タイプ | 使用流体 | 使用圧力 | 定格流量 | 使用温度 | エレメント | ろ過度 | ろ過面積 | 接続口径 | ||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 正圧 | 真空 | 耐差圧 | 逆差圧 | ||||||||||
| SFC100-02 | SFC100 | 多段ディスク形 | ディスポーザブル | 空気・窒素 | Max.0.99MPa | 1.3×10^-6ｋPa | 240L/min(ANR) | 5～120℃ | Max.0.42MPa | Max.0.07MPa | 0.01μm(捕集効率99.99％) | 300cm3 | Rc1/4 |
| SFC100-03 | SFC100 | 多段ディスク形 | ディスポーザブル | 空気・窒素 | Max.0.99MPa | 1.3×10^-6ｋPa | 240L/min(ANR) | 5～120℃ | Max.0.42MPa | Max.0.07MPa | 0.01μm(捕集効率99.99％) | 300cm3 | Rc3/8 |
| SFC102-02 | SFC100 | 多段ディスク形 | ディスポーザブル | 空気・窒素 | Max.0.99MPa | 1.3×10^-6ｋPa | 240L/min(ANR) | 5～120℃ | Max.0.42MPa | Max.0.07MPa | 0.01μm(捕集効率99.99％) | 300cm3 | TSJ1/4 |
| SFC102-03 | SFC100 | 多段ディスク形 | ディスポーザブル | 空気・窒素 | Max.0.99MPa | 1.3×10^-6ｋPa | 240L/min(ANR) | 5～120℃ | Max.0.42MPa | Max.0.07MPa | 0.01μm(捕集効率99.99％) | 300cm3 | TSJ3/8 |
| SFC105-02 | SFC100 | 多段ディスク形 | ディスポーザブル | 空気・窒素 | Max.0.99MPa | 1.3×10^-6ｋPa | 240L/min(ANR) | 5～120℃ | Max.0.42MPa | Max.0.07MPa | 0.01μm(捕集効率99.99％) | 300cm3 | UPJ1/4 |
| SFC105-03 | SFC100 | 多段ディスク形 | ディスポーザブル | 空気・窒素 | Max.0.99MPa | 1.3×10^-6ｋPa | 240L/min(ANR) | 5～120℃ | Max.0.42MPa | Max.0.07MPa | 0.01μm(捕集効率99.99％) | 300cm3 | UPJ3/8 |
| 型式 | 商品コード | 単位 |
価格 （円） |
基準納期 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 日伝 | メーカー | ||||
| SFC100-02 | SFC100-02 | P | 73,250 | - | - |
| SFC100-03 | SFC100-03 | P | 73,250 | - | - |
| SFC102-02 | SFC102-02 | P | 86,250 | - | - |
| SFC102-03 | SFC102-03 | P | 86,250 | - | - |
| SFC105-02 | SFC105-02 | P | 86,250 | - | - |
| SFC105-03 | SFC105-03 | P | 86,250 | - | - |
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