LLB3(標準タイプ)
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LLB3(標準タイプ)
■クリーン機器をモジュール化(配管工数削減/省スペース)。
■手軽にクリーンエアが得られます。
■ろ過度:0.01μm(捕集効率99.99%)
■流量範囲 5~100L/min(ANR)
■流体接触部:ノングリース、シリコーンフリー
■クリーンルーム組付け2重梱包出荷
【ユニット構成】
■ワンタッチ管継手内蔵
・クリーンワンタッチ管継手KPシリーズ。めねじ接続も選択可能。
■デジタルフロースイッチ
・測定流量範囲 5~100L/min
■減圧弁
■圧力取出口
・圧力計、圧力スイッチの取付けが可能。(別売)
■ON/OFF弁
・エアオペレート式、流量調整付エアオペレート式、手動操作式を用意。
■絞り弁
■フィルタ
・ろ過度:0.01μm(捕集効率99.99%)