【自動化・省人化・クリーン対応】清浄度の高い環境下での作業ニーズにお応えします。
・TX CR/SCRシリーズは、清浄度の高い環境下での作業ニーズに応えるために
特別に開発されたアームで、半導体業界などのスーパークリーンルームでの
長年の実績があります。
・このシリーズは半導体、バイオテクノロジー、医薬、医療などの産業分野ににおいて
求められるクリーン度クラス2/3または4(ISO規格)に準拠しています。
・密閉構造のアームを採用し、特殊リップシールで発塵を最小にします。
クリーン環境での使用・メンテナンスが簡単です。
・クリーンルームタイプ(CR)、ISO3とスーパークリーンルームタイプ(SCR)、
ISO2が選択できます。
・表面は特殊コーティングを施し、はく離や落下を防ぎます。
長期間にわたる使用でも安心してお使いいただけます。
・高い剛性を持ったアームで、優れた動的性能を発揮します。
FOUPなどの搬送にも適しています。
共通仕様
適応モデル | TX40、TX60、TX60L、TX90、TX90L、TX90XL、RX160、RX160L |
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