真空ポンプ 製品一覧

アンレット

ドライ真空ポンプ CT3型

CT3型：3段式真空ポンプ（水冷式）

【特長】
・エンドレス方式で省エネ・低騒音。特許取得済。
・分割ケーシングのため分解及び内部点検が容易です。
・ロータとシャフトが一体形の三葉ルーツ式ロータのため低騒音、低振動です。
・内部潤滑剤を使用しないため高真空側への油の逆流がなく、きれいな真空が得られます。
・吐出側にオイルミストの飛散がなく、作業環境及び作業者の健康を守ります。
・大気圧からの運転が可能で、広い圧力範囲にわたり性能が安定しています。(締切運転可能です。)
・摩耗がないため長期連続運転ができ、維持管理も簡単です。
・凝縮性気体のドレン回収も可能です。
・構造が簡単で、耐久力が抜群です。
・軸封はドライシール方式です。

アンレット

ドライ真空ポンプ CT4-LE型

CT4-LE：4段式真空ポンプ（水冷式）

【特長】
・エンドレス方式で省エネ・低騒音。特許取得済。
・分割ケーシングのため分解及び内部点検が容易です。
・ロータとシャフトが一体形の三葉ルーツ式ロータのため低騒音、低振動です。
・内部潤滑剤を使用しないため高真空側への油の逆流がなく、きれいな真空が得られます。
・吐出側にオイルミストの飛散がなく、作業環境及び作業者の健康を守ります。
・大気圧からの運転が可能で、広い圧力範囲にわたり性能が安定しています。(締切運転可能です。)
・摩耗がないため長期連続運転ができ、維持管理も簡単です。
・凝縮性気体のドレン回収も可能です。
・構造が簡単で、耐久力が抜群です。
・軸封はドライシール方式です。

アンレット

ドライ真空ポンプ FT4-LE型

FT4-LE：4段式真空ポンプ（空冷式）

【特長】
・エンドレス方式で省エネ・低騒音。特許取得済。
・分割ケーシングのため分解及び内部点検が容易です。
・ロータとシャフトが一体形の三葉ルーツ式ロータのため低騒音、低振動です。
・内部潤滑剤を使用しないため高真空側への油の逆流がなく、きれいな真空が得られます。
・吐出側にオイルミストの飛散がなく、作業環境及び作業者の健康を守ります。
・大気圧からの運転が可能で、広い圧力範囲にわたり性能が安定しています。(締切運転可能です。)
・摩耗がないため長期連続運転ができ、維持管理も簡単です。
・凝縮性気体のドレン回収も可能です。
・構造が簡単で、耐久力が抜群です。
・軸封はドライシール方式です。

アンレット

ドライ真空ポンプ FT6-P型

FT6-P型は、6段式真空ポンプ（空冷式）

【特長】
・接ガス部ドライでクリーン排気
・高真空・高効率・省エネ
・電源サイクルによる性能違いを解消
・エンドレス方式で省エネ・低騒音。特許取得済。
・分割ケーシングのため分解及び内部点検が容易です。
・ロータとシャフトが一体形の三葉ルーツ式ロータのため低騒音、低振動です。
・内部潤滑剤を使用しないため高真空側への油の逆流がなく、きれいな真空が得られます。
・吐出側にオイルミストの飛散がなく、作業環境及び作業者の健康を守ります。
・大気圧からの運転が可能で、広い圧力範囲にわたり性能が安定しています。(締切運転可能です。)
・摩耗がないため長期連続運転ができ、維持管理も簡単です。
・凝縮性気体のドレン回収も可能です。
・構造が簡単で、耐久力が抜群です。
・軸封はドライシール方式です。

アンレット

プレミアムパッケージポンプ FT-P-A

プレミアム　パッケージポンプFTP-A

【特長】
・省エネ
新型真空ポンプの採用により搭載モータを１ランクダウン。
従来のインバータ制御に加え、複数ポンプを内蔵したマルチポンプユニットを採用、制御範囲を拡大。
使用圧力に対し、最適な排気速度を実現、ムダを削減し、さらなる省エネを実現。

・IoT対応システム
運転状態、メンテナンス時期、異常の有無を遠隔・集中管理、省人化・予防保全が可能。

・複数台を台数制御！さらに最適化
最大8ユニットまで接続可能。
大型タッチパネル
自動ローテーション

コンバム

真空ポンプ｜ロータリーベーンポンプ CRV

・ロータリーベーン構造の真空ポンプ
・冷却ファン内蔵
・フィルタ内蔵

コンバム

真空ポンプ｜小型ロータリーベーンポンプ CDV

・ロータリーベーン構造の小型真空ポンプ
・設置が容易
・省スペース

芝浦エレテック

オイルレスポンプ｜ピストンポンプ PSL（真空ポンプ/コンプレッサ兼用）・PDLシリーズ（真空ポンプ専用）

■クリーンなポンプ
・オイルレスのため周囲環境の油汚染せず、また特殊材質を使用しているためクリーンです　

■小型・軽量・低騒音

■多彩な使い分け
・PSLシリーズ　コンプレッサとバキューム兼用でコンビネーションとしても利用できます
・PDLシリーズ　二段引きの真空ポンプとしてさらに高真空が得られます

芝浦エレテック

コントロールバルブ TCV-2／TCV-4（オイルレス真空ポンプ用オプション）

アイエイアイ

真空ポンプ｜ロボポンプ RP-VPM

・ロボポンプで装置のオール電動化が実現できます。

■配管取回しが不要です
・エジェクターのようにエア配管、コンプレッサー、電磁弁は必要ありません。
・ロボポンプはケーブルを接続し、電源を投入するだけで動作できます。
・無線機能(オプション)をつけることで、ティーチングツールと無線通信を行うことができます。

■コンパクトで簡単です
・手のひらサイズなので設置スペースを取りません。
・本体には電磁弁と圧力センサーを内蔵しており、軽量物の吸着に最適です。

■本体機能
・圧力表示やアラーム詳細などを表示させることができます。
・操作スイッチ(4方向+センタプッシュ式)によりしきい値やパラメーターなど、さまざまな設定が可能です。

神港精機

水封式真空ポンプ SWシリーズ

【水封式真空ポンプ SWシリーズの特長】
・水封式真空ポンプ は、水蒸気や水滴を含んだ気体の排気に最適です。
・2段式ポンプでは、3×10⁴Pa以下で高性能を発揮します。
・水封式真空ポンプ 、、引火性ガスや腐食性ガスの排気も可能です。
・低騒音でかつ振動の少ない設計です。
・回転により、吸・排気作業が連続的で、脈動が低減しています。
・ポンプ内部での摩擦部分がありませんので、部品の故障が減少しました。

【水封式真空ポンプ SWシリーズの構造・原理】
・水封式ポンプは、円形ケーシングと羽根車より本体を構成し、羽根車は ケーシングと偏心した位置に取付けられています。
・ケーシング内に適当量封水を入れて羽根車を回転させますと、質量の大きい封水は、遠心力によっ て、ケーシング内壁に沿って同心のリング状になります。
・羽根車が回転する事により、この封水リングの内壁と羽根車の羽根によって囲まれた空間の容積が、変 化する事を利用して、側壁または羽根車の内壁に設けられている吸・排気口を通して、吸入・圧縮・排気の作用を連続的に行います。
・高速回転により、能率の高 い排気を達成します。また、封水は吸気された気体が必ず排気されるようにシールの役目をしています。

神港精機

油回転真空ポンプ SR・SRP型／SVC型

SR・SRPシリーズ（揺動ピストン形）
・SR型：もっともシンプルな構造の1段形真空ポンプです。
・SR-B型・SPR-B型：大排気量ながらコンパクトな真空ポンプです。抜群の堅牢性を持ちます。

SVCシリーズ（回転翼形）
・2段回転翼形で到達圧力が良く低振動です。


【油回転真空ポンプの特長】
・耐久力が大きく、寿命が長い。
・排気特性が優れ操作が簡単。
・水蒸気の処理ができる。
・ガスバラスト弁を取付ける事により、凝縮性蒸気が凝縮して油と混濁してポンプ性能が低下する事を防止し、凝縮性蒸気を排気処理する事が出来ます。


【油回転真空ポンプの作動原理】
・軸に固定されたロータが、回転する事により、ポンプのシリンダ内部に空間が生じます。
・その結果、吸気口よりシリンダ内部の空間に、気体が入ります。
・そして ロータが回転する事により、シリンダとピストン、シリンダとベーンとの空間にある気体は、圧縮される空間に移り、排気弁を通して、油タンク内部へと排出さ れます。

神港精機

メカニカルブースタポンプ SMBシリーズ

【メカニカルブースタポンプの特長】
・排気特性が大変すぐれています。
・操作が簡単で保守も容易です。
・超寿命です。
・コンパクトで低振動です。
・クリーンな真空が得られます。
・安全な横形を採用しています。

【メカニカルブースタポンプの構造】
・平行した2本の軸に2個のバランスの取れたまゆ形ロータが固定され、電動機により駆動されます。
・ロータが回転することにより、吸入口から入った気体はケーシングとロータの空間に閉じ込められ、排気口より連続的に排出されてゆき、効率よく真空を作り出します。

神港精機

ドライ真空ポンプ SSH型

ドライ真空ポンプ SSH型は、高性能DCBLモータを搭載した省エネポンプです。

【ドライ真空ポンプ SSH型の特長】
高効率DCブラシレスモータの採用
・DCブラシレスモータを回転数制御することによって始動電流を低減し、通常運転時にも「POWER MODE」と「ECONOMY MODE」選択できる仕様となっています。（運転中も切り替え可能）。また、50/60Hzの地域による能力差を解消し、ヘルツフリーを実現しました。

Economy＆Ecology
・Economy　年間　約￥64,000の節電効果
・Ecology　年間　約1,400kgのCO2排出量を削減
（誘導モータ対比　年間　約9,000h運転した場合）

コントローラー内蔵
・様々な保護機能を有するポンプコントローラーを装備し、外部制御も可能としています。

【ドライ真空ポンプ SSH型の用途】
・半導体製造、電子部品製造（蒸着、スパッタリング、エッチング、後工程装置など）
・一般産業（吸着搬送、ガス置換、封止排気、滅菌など）
・研究開発（エバポレータ、環境試験機など）

神港精機

ドライ真空ポンプ SST型

・独自開発のスクリューローターとメンテナンス性を追求した機械構成、選択可能なアクセサリーにより、ドライポンプでは不向きとされていた凝固性ガス、粉体、生成物の吸引を含むハードプロセスにおいても安定した性能とメンテナンスサイクルの長期化を実現したドライ真空ポンプです。


【ドライ真空ポンプ SST/SSXシリーズの特長】
ZEROEDGEスクリュー
・独自開発のスクリュー形状で高排出性・高耐久性を実現しました。
・凝固性ガス、粉体、生成物の吸引を含むハードプロセスにおいても安定した運転が可能です。

メンテナンス性の追求
・設置場所にて、容易に洗浄作業や分解作業がおこなえ、ユーザー様の目線で細部にこだわる画期的な方法を確立しました。

豊富なオプション
・クリーニング吸気管セット、メンテナンス架台セット、ヒーターセットなど多彩なアクセサリーで最適な仕様を提供します。
・屋外型、耐圧防爆型、高効率型など各種モータの搭載が可能です。


【ドライ真空ポンプ SST/SSXシリーズの用途】
・工業炉（焼結・脱脂・浸炭・一般熱処理）
・樹脂成形（押出機・成形機）
・化学品・食品・医薬品製造プロセス（重合・反応・蒸留・脱水・乾燥・凍結乾燥・濃縮など）
・シリコン単結晶引上装置
・真空洗浄装置

鶴見製作所

液封式真空ポンプ VD型

軽量コンパクトな液封式真空ポンプVD型
・封液がピストンの役割をし、潤滑油が不要で低騒音、環境配慮型の液封式真空ポンプです。

一体型だから軽量！質量が半減！
・従来のカップリング部分がなくなったことにより、大幅な軽量化を実現し、扱いやすさが向上しました。

一体型だからコンパクト！全長が65％に縮小！
・従来のカップリング部分がなくなったことにより大幅なコンパクト化を実現。
・さまざまな機器への組み込みが可能になりました。

耐久性・メンテナンス性が向上！
・軸封部には、水中ポンプで実績のある信頼性の高いメカニカルシール（軸封装置）を採用。耐久性が向上しました・
・シール部にはOリング、パッキンを採用し、分解・組立も容易になり、メンテナンスの作業効率が向上しました。

高効率・低騒音！
・気体の過圧縮と、不足圧縮による逆流を防ぐために、吐出し口の一部にボールバルブ帰稿を採用。
・高真空域でも安定した吸込み量を維持すると同時に、損失動力を軽減し運転効率が向上し、また、騒音の低減にも効果があります。

三浦工業

水封式真空ポンプ MEAシリーズ

【水封式真空ポンプの特長】
・どんな条件にもフレキシブルに力を発揮！
・食品製造過程において、蒸気を含む気体を取り扱うのに最適!

衛生的でクリーンな排気
・潤滑油を使用しないためオイルによるガスの汚れ、オイルミストはありません。

水分吸引に適した水封式構造
・水封式なので、水分を含んだ気体の吸引に最適。
・ポンプ内に悪影響を与える心配もありません。

パワフルな高真空を実現
・インペラを2段にすることで、ポンプ内の真空度をさらに高めることができました。
・全機種到達真空度2.27kPaのパワフル仕様です。

軸封処理も万全
・軸封にはメカニカルシールを使用。
・高真空時に起こりがちな空気の吸い込みも防止できる構造です。

モータ直結のコンパクト設計。
・コンパクトにモータを直結。軽くて小型だから場所をとらず移動もラクラク。
・装置等への組み込みも手間がかからず簡単です。

腐食耐久性に優れています
・樹脂製ケーシングとステンレス製インペラをの採用。


【水封式真空ポンプの主な用途例】
食品関連
・真空包装、液体の脱気・脱泡、真空濃縮・乾燥、真空冷却、製品の吸着・搬送、水の含浸、吸引・移送

電子関連
・真空乾燥、ウエハの吸着・搬送

産業機械全般
・製品や部品の吸着・搬送、成形、吸引・移送