日本トムソン メカトロシリーズ 製品一覧
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日本トムソン
精密位置決めテーブ TEシリーズ
・精密位置決めテーブルTEは、主要構成部品に高強度アルミ合金を使用し、U字形のベッドの内側にスライドテーブルを配置した構造の軽量・コンパクトな位置決めテーブルです。
・送り機構には精密研削ボールねじを採用しており、信頼性が高く、高精度な位置決めが可能です。
・直動案内部とボールねじに潤滑部品Cルーブを内蔵することで長期メンテナンスフリーを実現し、潤滑のための給油工数を削減することができます。
・ボールねじのリード、モータの種類、センサ取付けなどの各種仕様が設定できるので、用途に合わせて最適な位置決めテーブルを構成することができます。
・部品加工・組立・検査・搬送装置など、高い位置決め精度を必要とする装置から一般分野まで、幅広い用途に最適です。
特長
・高強度アルミニウム合金製の軽量テーブル
・精密研削ボールねじの採用で位置決め精度を保証
・Cルーブ内蔵で長期メンテナンスフリー
・優れたコストパフォーマンス
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日本トムソン
精密位置決めテーブ TUシリーズ
・精密位置決めテーブルTUは、U字形のトラックレールの内側にスライドテーブルを配置した、コンパクトでスリムな位置決めテーブルです。
・スライドテーブルは直線案内機器と一体構造になっており、大径の鋼球が2列に配置され軌道と4点で接触する構造のため、方向や大きさが変動する負荷荷重や複合荷重が作用する使用用途でも安定した高い精度と剛性が得られます。また、U字形のトラックレールを採用することで、トラックレールのモーメントやねじりに対する剛性も大幅に向上しています。
・精密位置決めテーブルTUは、トラックレール幅25~130mmまで8種類の大きさがあり、スライドテーブルの長さを選択することができます。またボールねじの種類とリード、モータの種類、センサの取付けなどの各種仕様が設定できるので、用途に合わせて最適な位置決めテーブルを構成することができます。
特長
・新発想のU字形トラックレールを採用
・スライドテーブルは高精度・高剛性な一体構造
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日本トムソン
精密位置決めテーブル L
・精密位置決めテーブルLは、高強度アルミニウム合金のスライドテーブルとベッドで構成された、軽量でロングストロークな位置決めテーブルです。
・Cルーブリニアウェイを2セット並列に組み込み、送り機構に、Cルーブ精密ボールねじを使用することで高い精度と大きな搭載質量を可能とし、さらに5年または、20,000kmのメンテナンスフリーを実現しています。
・テーブルサイズやストローク長さのバリエーションが豊富で、専用のXYブラケットもシリーズ化されているので、用途に合わせて簡単に直行形ロボットなどのシステムを構成することができます。
・精密位置決めテーブルLは、組立機・加工機・測定器などの高精度な位置決め機構として最適です。
特長
・安定した高い走行精度と位置決め精度
・軽量でロングストローク
・豊富なサイズバリエーションで多軸システム構成が容易
・Cルーブ・メンテナンスフリー仕様
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精密位置決めテーブル LH
・精密位置決めテーブルLHは、高剛性で振動減衰性の高い鋳鉄製のスライドテーブルとベッドで構成された、高精度・高剛性な位置決めテーブルです。テーブル内部および送り機構にCルーブリニアウェイとCルーブボールねじを組み込むことで、安定した高い走行精度と位置決め精度、大きな搭載質量を可能とし、さらに5年または20,000kmの長期間メンテナンスフリーを実現しています。
・テーブル幅寸法で120mm~420mmの超大形サイズまで4つの大きさがあり、これらを組み合わせた二軸仕様のテーブルもシリーズ化されています。負荷荷重が大きく、ストローク長さが比較的長い使用箇所の高精度な位置決め機構として最適です。
特長
・高い走行精度と位置決め精度
・高剛性で大きな搭載質量
・テーブル幅寸法420mmの超大形サイズまでシリーズ化
・Cルーブ・メンテナンスフリー仕様
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高精密位置決めテーブル TX
・精密位置決めテーブルTXは、高精度・高剛性で高い実績のある精密位置決めテーブルLHシリーズをベースに、円筒ころ(ローラ)を転動体に使用し直動案内機器では最高レベルの走行性能を持つリニアローラウェイスーパーXを組み込み、フルクローズドループ制御により極めて高い精度を実現した位置決めテーブルです。
・テーブル寸法で120mmから420mmまで4つの大きさがあり、これらを組み合せた二軸仕様のテーブルもシリーズ化されています・
・今まで転がり案内を仕様できなかった、高い精度が要求される位置決めに最適です。
特長
・変動荷重にも高い安定性を発揮
・シンプルなシステム構成が可能
・低・中真空環境での使用も可能
【アブソリュート型リニアエンコーダーを選択可能】
・原点復帰が不要
アブソリュート型リニアエンコーダは電源投入直後から絶対位置の計測が行われるため、TXの起動時や非常停止時の原点復帰が不要で、インクリメンタル型リニアエンコーダで用いられる原点前センサも不要です。
・高分解能と高速移動の両立
アブソリュート型リニアエンコーダでは、シリアル通信を用いて要求に応じて位置が計測されるため、高い分解能であっても最高速度が低下することはありません。
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日本トムソン
クリーン精密位置決めテーブル TC
・クリーン精密位置決めテーブルTCは、半導体・液晶関連装置等など、高いクリーン度が要求される環境下での使用に最適な位置決めテーブルです。独自の高気密構造により、駆動部分やスライドテーブルの案内部分を密封し、テーブル周辺への発じんを防ぎます。
・クリーン精密位置決めテーブルTCには、幅寸法が小さくクリーン度クラス2を実現するTC-USと、高精度でオプションが豊富なTU-Cの2タイプがあります。
特長
・高いクリーン度
・独自の密封構造
・低発じんグリース採用
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日本トムソン
マイクロ精密位置決めテーブル TM
・マイクロ精密位置決めテーブルTMは、超小型装置の分野で定評のある、トラックレール幅2mmのマイクロリニアウェイLと、ねじ径2mmの精密研削ボールねじを組み込んだ、極めて小形な精密位置決めテーブルです。
・マイクロリニアウェイL、ボールねじなどの鋼製部品にはステンレス鋼を使用しており、耐食性に優れています。
・各種機械装置の小型化・省スペース化などのニーズだけでなく、これまでの小形位置決めテーブルでは満足することができなかった、さらに高い精度が要求される位置決めテーブルの用途に最適です。
特長
・断面高さ20mm、幅17mmの極小サイズを実現。
・ACサーボモータとステッピングモータが選択可能。
・超小型センサも内蔵可能。
・超小型装置の位置決め機構の高精度化を実現。
・優れた耐食性。
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日本トムソン
高精密位置決めテーブル TS・CT
・精密位置決めテーブルは、高剛性で振動減衰性に優れた鋳鉄製のスライドテーブルとベッドに高性能な直動案内機器を組み込み、送り機構に精密ボールねじを使用した位置決めテーブルで。
・TS及びTCは、精密な直動案内機器の分野で実績のあるクロスローラウェイを使用したコンパクトな位置決めテーブルです。
・CT55/55Tは、直動案内機器にミニアチュアリニアウェイを採用し、モータを含む断面高さが40mmの薄形精密位置決めテーブルです。
・コンパクトで精度が高く高剛性な直動案内機器の特長を最大限に生かすことにより、断面高さが低く、信頼性の高い、高精度な位置決めテーブルになっています。
・精密位置決めテーブルには、単軸と二軸仕様の二種類があり、高精度な位置決めを要求される、精密測定機器、精密組立機などの分野で広く使用されています。
特長
・断面高さが低く、コンパクト
・高精度な位置決めが可能
・スライドテーブルの面積を生かしたコンパクトな設計が可能
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日本トムソン
精密位置決めテーブル LB
精密位置決めテーブルLBは、スライドテーブルの送り機構に耐久性に優れた高張力スチールコード入りのタイミングベルトを採用し、駆動用モータに高トルク5相ステッピングモータを使用した、高速移動が可能なロングストロークタイプの位置決めテーブルです。
・スライドテーブルとベッドは高強度アルミニウム合金製で軽量化されています。また、直動案内機器にはリニアウェイを2本並列に組み込むことで、安定した高い走行性能を実現しています。
・精密位置決めテーブルLBは高速で作業を行う組立機・搬送機・パレットチェンジャなどの位置決め機構として最適です。
特長
・1500mm/sの高速移動が可能
・軽量でロングストローク
・安定した高い走行性能
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日本トムソン
精密位置決めテーブル用電装システム
・精密位置決めテーブルには、ACサーボモータ用に各モータメーカ純正の電装システムをラインナップしています。各種コントローラ、シーケンサなどの周辺機器との接続が簡単に行え、制御システムの設計自由度が飛躍的に向上しました。
・ステッピングモータ用には各種モータの性能を充分に発揮させるために、専用に設計された電装システムを用意しています。
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日本トムソン
リニアモータテーブル LT
・リニアモータテーブルLTは、アルミニウム合金製の可動テーブルとベッドの間にACリニアサーボモータを組み込み、光学リニアエンコーダを内蔵したコンパクトで高精度な位置決めテーブルです。
・直動案内部には、5年または20,000kmのメンテナンスフリーを実現したCルーブリニアウェイを採用し、メンテナンス工数の削減に貢献します。
・コンパクトシリーズのLT-CE、ロングストロークシリーズのLT-LD及びハイスラストシリーズのLT-Hを用意しており、用途に合わせて選択できます。
・リニアモータテーブルLTは、軽量な可動テーブルと大きな推力により、高加減速・高応答な動作を可能とします。さらに、先進のサーボ技術により高い停止安定性と高い速度安定性を実現しています。
・リニアモータテーブルLTは、半導体・液晶関連製造装置や高速での作業を要求される測定器・組立機及び搬送機などの用途に最適です。
特長
・高速・高分解能の両立
・高加減速・高応答で滑らかな作動
・優れた静止・速度安定性
・クリーンで低騒音
・メンテナンスフリー
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日本トムソン
ナノリニア NT
・ナノリニアは、鋼製の可動テーブルにマグネットと光学リニアエンコーダ用スケール、鋼製のベッドに固定子コイル、リニアエンコーダー用ヘッドなどを配置した、機能美に優れたコンパクトなリニアモータテーブルです。
・テーブル案内部には小形直動案内機器の分野で定評のあるリニアウェイとリニアモータの組み合せにより高精度な位置決めを実現します。
・可動子には、高性能ネオジウム磁石の採用により、極めて小形でありながら大きな推力が得られ、高速・高応答な位置決めが可能です。また、機械的接触部分はリニアウェイのみなので、高いクリーン度を実現します。
・ナノリニアは、半導体・液晶関連製造装置や、クリーン環境が要求される検査装置や電子部品組立装置などのコンパクトな位置決め機構として最適です。
・ナノリニアシリーズには、コストパフォーマンスに優れた「NV-V」シリーズとコンパクトな「NT」シリーズの2種類を用意しています。
・ナノリニアNTシリーズはCEマーク対応製品になります。
特長
・超コンパクト:面積生産性が向上
・高加減速運転を実現:タクトタイムが短縮
・低発じん仕様:クリーンルームでの使用に最適
・豊富なバリエーション:最適なシステム構成が可能
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アライメントテーブル AT
・精密アライメントテーブルATは、高剛性な鋼製テーブルとベッドを使用し、テーブルを支える軸受にクロスローラベアリングを組み込んだ、精密角度補正を目的とした回転位置決め機構です。
・精密アライメントテーブルATは、ボールねじの駆動による直線方向の動きを、一定角度範囲における円運動に変換し、テーブルを回転方向に位置決めします。ボールねじ駆動機構の直線案内機器にはリニアウェイLが使用され、精密ボールねじとの組合せにより、高精度な位置決めを実現しました。
・精密アライメントテーブルATは、精密位置決めテーブルのスライドテーブル上に設置し、高さ寸法の低いXY-θ多軸内決め機構を構成することにより、精密測定機器・検査機器・組立機などのアライメント用テーブルとして使用することができます。
特長
・低断面設計で高剛性
・高い繰返し位置決め精度を実現
・3つのサイズをシリーズ化
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アライメントモジュール AM
・アライメントステージモジュール形SA-Mは、角度調整機構をもったアライメントモジュールAMを同一平面上に配置した大形の精密位置決めテーブルです。
・XY方向の直線運動と、角度補正を行うことができ、特に角度補正は任意位置を回転中心に設定できるため、動作の自由度が高く、多彩な動作を実現しています。ステージとベースには大口径の中抜き構造が採用されているため、半導体・液晶関連製造装置及び検査装置などのアライメントステージに最適です。
・アライメントモジュールAMは精密位置決めテーブルTUと、高剛性形クロスローラベアリング、リニアウェイEを組み合わせて、アライメントステージ用に開発された位置決めモジュールです。
・高さ寸法の許容差を±10μmと高精度に管理しているので、各アライメントモジュールの高さ調整をすることなくアライメントステージを構成できます。
特長
・多彩な動作を実現
・大形装置に最適
・高精度・高剛性・高信頼性
・中抜き構造
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アライメントステージ SA
・アライメントステージ ダイレクトドライブ形SA-DEは、直動案内部にリニアウェイL、回転案内部にクロスローラベアリングを使用し、駆動部にダイレクトドライブ方式を採用した、低断面でコンパクトな、XYθ運動を実現するアライメントステージです。
・アライメントステージSA-DEは、高分解能リニアエンコーダと、フルクローズループ制御の組み合わせにより、バックラッシのない高精度な位置決めを実現します。
・直線移動用のX軸可動テーブルと、回転位置決め部であるθ軸ターンテーブルを標準化しているので、X軸とθ軸の組み合せや、XY軸のアライメントを簡単に構築することができます。
・半導体・液晶関連製造装置など、画像処理を利用したアライメント処理やクリーンな環境を要求される測定機器や検査装置などの位置決め機構として最適です。
特長
・薄形・コンパクト
・高分解能・高精度
・XYθの組み合わせ自由
・メンテナンスフリー
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精密昇降テーブルTZ
・精密昇降テーブルTZは、くさび機構を利用して上下方向の位置決めを行うための昇降テーブルです。
・くさび機構には、各種産業機械で高い実績のあるリニアウェイの技術をそのまま活用し、トラックレール軌道とくさびを一体構造とすることで、高い精度と剛性をコンパクトなサイズで実現しています。
・高い精度を必要とする、半導体・液晶関連製造装置・光学系装置に最適です。
特長
・高い精度と位置決め精度
・コンパクトなサイズ
・センサを標準装備
・2つの減速比をシリーズ化
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日本トムソン
リニアモータ駆動テーブル用ドライバ ADVA
・従来のパルス列指令入力に加えて高速モーションネットワークEtherCATにも対応。
・インテリジェント端子で、10入力端子及び6出力端子、アナログ入力0~±10Vの制御が可能です。
・高い制御性により整定時間を短縮し、生産性の更なる向上を実現します。
・セットアップソフトウェアのパラメータ設定、モニタ表示、運転トレースやオートチューニング機能などにより機械の診断やリニアモータの立上げ・調整が容易に行えます。
【新機能「位置決め補正機能」】
・位置制御時の位置指令に従って、リニアエンコーダの読み取り値と実位置との誤差を補正する機能です。精密な実位置を測定するレーザ測長器などにより得た測定データをもとに位置補正を行うためのデータを算出し、ADVAドライバへ保存します。保存された位置補正値を用いて位置制御を行うことで、実位置との誤差をドライバ内部で補正し、高精度な位置決めが実現できます。
・使用方法は、補正機能を有効化することで、位置制御時にドライバが自動で補正を行います。
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日本トムソン
回転ステージ SK-W
・高精度、高剛性でなめらかな位置決めを実現する回転ステージSK-Wが新たにラインナップ!
・SK-Wは、ウォームギア機構を採用した無限回転ステージです。IKOクロスローラーベアリングを回転案内部に採用し、直接テーブルとすることで高精度な回転振れ、高剛性、低断面を実現しています。
【高精度】
・回転案内部にIKOクロスローラベアリングを組込み、テーブル上部の擦れ量は5μm以下を実現しています。
【低断面、高剛性】
・回転案内部にあらゆる方向に対して高剛性を発揮するIKOクロスローラベアリングを採用。更にクロスローラベアリングを直接テーブルとすることで低断面を実現しています。
【設計工数削減】
・テーブルには、装置のテーブルや検査対象物等を取り付けることが可能です。機構部品を使用して一から回転テーブルの設計をする手間を削減できます。