自動ダイヤフラムバルブ｜低圧エアオペレーションバルブ（NEW MEGA-ONE LA） FP(R)-ND-□1

FINE series PURE ／ NEW MEGA series

■NEW MEGA-ONE LA
・新タイプ・低圧エアオペレーションバルブ
・NEW MEGA-ONE LA は、各種半導体製造装置・設備等の超高純度流体および可燃性、毒性流体ライン向けの気体作動ダイヤフラムバルブです。
・ダイレクトダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト、パーティクルフリー、デッドスペースフリーを達成した業界スタンダードのバルブです。
・従来のMEGA-ONE LAの性能はそのままに、コンパクト化をはかりました。

■アクチュエータ部の簡略化により、コンパクト化をはかりました。

■優れた耐久性400万回以上（φ6.35）

■ノーマルオープン、ノーマルクローズの区別ができるようキャップ上部で、簡単に識別できます。

■良好な置換特性（UJR 6.35 MALE TYPEで全内容積 1.48 cc）

■高耐久性ニッケルーコバルト合金製ダイヤフラム

■シート材質は、標準でPCTFEを採用しています。
・PI・PAもオプション設定しています。

■接ガス部はすべて標準でEP処理を行っています。
・オプションでUP処理も可能です。

#ダイヤフラムバルブ