自動ダイヤフラムバルブ｜低圧コンパクトエアオペレーションバルブ（NEW MEGA-MINI LA） FP(R)-NSD-□1

FINE series PURE ／ NEW MEGA series

■NEW MEGA-MINI LA
・新タイプ・低圧コンパクトエアオペレーションバルブ
・NEW MEGA-MINI LAは、各種半導体製造装置・設備等の超高純度流体および可燃性、毒性流体ライン向けの気体作動ダイヤフラムバルブです。
・ダイレクトダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト、パーティクルフリー、デッドスペースフリーを達成した業界スタンダードのバルブです。
・従来のMEGA-MINI LAの性能はそのままに、コンパクト化を図りました。

■アクチュエータ部の簡略化により、コンパクト化をはかりました。
・φ35の小型アクチュエータの採用によりコンパクトです。

■優れた耐久性400万回以上

■ノーマルオープン、ノーマルクローズの区別ができるようアクチュエータキャップ上部で、簡単に識別できます。

■高耐久性ニッケルーコバルト合金製ダイヤフラム

■良好な置換特性（UJR 6.35 MALE TYPEで全内容積 0.84 cc）

■シート材質は、標準でPCTFEを採用しています。
・PI・PAもオプション設定しています。

■接ガス部はすべて標準でEP処理を行っています。
・オプションでUP処理も可能です。

#ダイヤフラムバルブ