自動ダイヤフラムバルブ｜高圧コンパクトエアオペレーションバルブ（NEW MEGA-MINI HA） FP(R)-NSD-□21

FINE series PURE ／ NEW MEGA series

■NEW MEGA-MINI HA
・新タイプ・高圧コンパクトエアオペレーションバルブ
・NEW MEGA-MINI HAは、各種半導体製造装置・設備等の超高純度流体および可燃性、毒性流体ライン向けの気体作動ダイヤフラムバルブです。
・ダイレクトダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト、パーティクルフリー、デッドスペースフリーを達成した業界スタンダードのバルブです。
・従来のMEGA-MINI HAの性能はそのままに、コンパクト化をはかりました。

■アクチュエータ部の簡略化により、コンパクト化をはかりました。
・特殊構造のアクチュエータにより、高圧タイプのエアオペレーションバルブとして、大変コンパクトです。

■優れた耐久性40万回以上

■高圧ガス大臣認定品の対応が可能です。

■高耐久性ニッケルーコバルト合金製ダイヤフラム

■良好な置換特性（UJR MALE TYPEで全内容積 0.92 cc）

■シート材質は、標準でPCTFEを採用しています。
・PIもオプション設定しています。

■接ガス部はすべて標準でUP処理を行っています。

#ダイヤフラムバルブ