クリーン精密位置決めテーブル TC-EB

・精密位置決めテーブルTCは、軽量・低断面・コンパクトな精密位置決めテーブルTEをベースに、テーブル内部の密閉性を高めた構造の位置決めテーブルです。
・ステンレスシート、サイドカバーにて、駆動部分やスライドテーブル案内部分を密閉し、テーブル周辺への発じんを防ぎます。
・半導体・液晶関連製造装置など、高いクリーン環境下で高精度な位置決めを求められる用途に最適です。

＜特長＞
・半導体・液晶関連製造装置など、高い清浄度が要求される環境下での使用に最適
・軽量・低断面・コンパクトな位置決めテーブル
・清浄度クラス３に対応
・Ｃルーブ内蔵の長期メンテナンスフリー

#電動アクチュエータ