PVQ30
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PVQ30
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PVQ31 直接配管タイプ
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PVQ33 ベース配管タイプ
■電流に比例して流量を無段階に制御
・電流制御により、ひとつの比例電磁弁で流量を無段階に制御可能。
■繰返し精度:3%以下
■ヒステリシス:10%以下(機種により異なる)
■寿命2500万サイクル
・摺動部特殊処理によりフル設定作動領域での作動で2500万サイクル使用可能。
■ボディ材質:C37相当またはSUS304相当
■シール材質:KFM
■電源OFF時にバルブは閉状態に復帰
■真空使用可能
・最低使用圧力:0.1Pa.abs
■弁開閉時の作動音を低減
■マニホールド搭載可能
■主な用途
・エアブロー、ハンドピースの回転制御、圧力計、真空チャンバ吸排気量の制御