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アズビル
SPG
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■製品品質向上に貢献
・真空計のゼロシフトは制御量に影響し、それにより最終製品の品質にも影響します。サファイア隔膜真空計は、ゼロシフトしにくい構造を採用しています。
・デポの影響を受けにくい中央受圧構造
・真空⇔大気サイクルに強い
・温度変化の影響を受けにくい
■生産性向上に貢献
・設備のダウンタイムを低減します。無駄な時間を削減するための機能を搭載しました。
■プロセス改善に貢献
・従来、圧力信号の変化でしか分からなかった、さまざまな情報を可視化し、お客さまのプロセス改善に貢献します。
395件の型式
| 型式 | タイプ | 追加機能 |
FS圧力レンジ (絶対圧) |
自己加熱温度 (℃) |
継手/オプション |
イベント1設定値 (%FS) |
イベント2設定値 (%FS) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| SPG6BP21EDNNNNNN | 高温環境対応モデル | ALDプロセス用モデル | 20Pa | 150 | 8VCR(Female)相当品(SUS316L 電解研磨) | 常時OFF | 常時OFF |
| SPG6BP21ED010500 | 高温環境対応モデル | ALDプロセス用モデル | 20Pa | 150 | 8VCR(Female)相当品(SUS316L 電解研磨) | 1.0 | 50.0 |
| SPG6BP13HDNNNNNN | 高温環境対応モデル | ALDプロセス用モデル | 1000Pa | 200 | 8VCR(Female)相当品(SUS316L 電解研磨) | 常時OFF | 常時OFF |
| SPG6BP15HD000000 | 高温環境対応モデル | ALDプロセス用モデル | 100kPa | 200 | 8VCR(Female)相当品(SUS316L 電解研磨) | 0 | 0 |
| SPG6CT1RCDNNNNNN | 高温環境対応モデル | デポ対策強化モデル | 13.332Pa | 100 | 8VCR(Female)相当品(SUS316L 電解研磨) | 常時OFF | 常時OFF |
| SPG6CT1RCENNNNNN | 高温環境対応モデル | デポ対策強化モデル | 13.332Pa | 100 | NW16 | 常時OFF | 常時OFF |
| SPG6CT1REDNNNNNN | 高温環境対応モデル | デポ対策強化モデル | 13.332Pa | 150 | 8VCR(Female)相当品(SUS316L 電解研磨) | 常時OFF | 常時OFF |
| SPG6CT1REENNNNNN | 高温環境対応モデル | デポ対策強化モデル | 13.332Pa | 150 | NW16 | 常時OFF | 常時OFF |
| SPG6CT2RCDNNNNNN | 高温環境対応モデル | デポ対策強化モデル | 26.664Pa | 100 | 8VCR(Female)相当品(SUS316L 電解研磨) | 常時OFF | 常時OFF |
| SPG6CT2RCENNNNNN | 高温環境対応モデル | デポ対策強化モデル | 26.664Pa | 100 | NW16 | 常時OFF | 常時OFF |
| 型式 | 商品コード | 単位 |
価格 （円） |
基準納期 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 日伝 | メーカー | ||||
| SPG6BP21EDNNNNNN | SPG6BP21EDNNNNNN | P | 1,950,000 | - | - |
| SPG6BP21ED010500 | SPG6BP21ED010500 | P | 1,950,000 | - | - |
| SPG6BP13HDNNNNNN | SPG6BP13HDNNNNNN | P | 2,200,000 | - | - |
| SPG6BP15HD000000 | SPG6BP15HD000000 | P | 2,160,000 | - | - |
| SPG6CT1RCDNNNNNN | SPG6CT1RCDNNNNNN | P | 1,650,000 | - | - |
| SPG6CT1RCENNNNNN | SPG6CT1RCENNNNNN | P | 1,670,000 | - | - |
| SPG6CT1REDNNNNNN | SPG6CT1REDNNNNNN | P | 1,850,000 | - | - |
| SPG6CT1REENNNNNN | SPG6CT1REENNNNNN | P | 1,870,000 | - | - |
| SPG6CT2RCDNNNNNN | SPG6CT2RCDNNNNNN | P | 1,650,000 | - | - |
| SPG6CT2RCENNNNNN | SPG6CT2RCENNNNNN | P | 1,670,000 | - | - |
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